Silanu (SiH4)

Technické parametry

Silan je sloučenina křemíku a vodíku. Je to obecný termín pro řadu sloučenin, včetně monosilanu (SiH4), disilanu (Si2H6) a některých vyšších sloučenin křemíku a vodíku. Mezi nimi je nejběžnější monosilan, někdy zkráceně označovaný jako silan. Silan je bezbarvý plyn s nechutným česnekovým zápachem. Rozpustný ve vodě, téměř nerozpustný v ethanolu, etheru, benzenu, chloroformu, křemičitém chloroformu a tetrachloridu křemičitém. Chemické vlastnosti silanů jsou mnohem aktivnější než u alkanů a snadno oxidují. Při kontaktu se vzduchem může dojít k samovznícení. Nereaguje s dusíkem pod 25 °C a nereaguje s uhlovodíkovými sloučeninami při pokojové teplotě. Vznícení a výbuch silanu jsou výsledkem reakce s kyslíkem. Silan je extrémně citlivý na kyslík a vzduch. Silan s určitou koncentrací bude také explozivně reagovat s kyslíkem při teplotě -180 °C. Silane se stal nejdůležitějším speciálním plynem používaným v polovodičových mikroelektronických procesech a používá se při přípravě různých mikroelektronických filmů, včetně monokrystalických filmů, mikrokrystalických, polykrystalických filmů, oxidu křemičitého, nitridu křemičitého a silicidů kovů. Mikroelektronické aplikace silanu se stále hlouběji rozvíjejí: nízkoteplotní epitaxe, selektivní epitaxe a heteroepitaxe. Nejen pro křemíkové součástky a křemíkové integrované obvody, ale také pro složená polovodičová součástky (arsenid galia, karbid křemíku atd.). Má také uplatnění při přípravě supermřížkových kvantových jámových materiálů. Lze říci, že silan se v moderní době používá téměř ve všech pokročilých výrobních linkách integrovaných obvodů. Aplikace silanu jako filmu a povlaku obsahujícího křemík se rozšířila z tradičního mikroelektronického průmyslu do různých oblastí, jako je ocel, strojírenství, chemikálie a optika. Dalším potenciálním využitím silanu je výroba vysoce výkonných keramických součástí motorů, zejména použití silanu k výrobě silicidových (Si3N4, SiC atd.) mikropráškových technologií, které přitahují stále větší pozornost.

Aplikace:

①Elektronické:

Silane se nanáší na polykrystalické křemíkové vrstvy na křemíkových destičkách při výrobě polovodičů a tmelů.

②Solární:

Silane se používá při výrobě solárních fotovoltaických modulů.

③Průmyslové:

Používá se v energeticky úsporném zeleném skle a aplikuje se na proces nanášení tenkých vrstev z plynné fáze.

Normální balíček:

Výhoda:

①Více než deset let na trhu;

②Výrobce s certifikátem ISO;

③Rychlé dodání;

④Stabilní zdroj surovin;

⑤Online analytický systém pro kontrolu kvality v každém kroku;

⑥Vysoké požadavky a pečlivý postup pro manipulaci s lahví před plněním;

⑦Čistota: vysoce čistá elektronická třída;

⑧Použití: materiály pro solární články; výroba vysoce čistého polykřemíku, oxidu křemičitého a optických vláken; výroba barevného skla.