Co jetetrafluorid uhlíkuK čemu to je?
Tetrafluorid uhličitýTetrafluormethan, také známý jako tetrafluormethan, je považován za anorganickou sloučeninu. Používá se v procesu plazmového leptání různých integrovaných obvodů a také jako laserový plyn a chladivo. Za normální teploty a tlaku je relativně stabilní, ale je nutné se vyhnout kontaktu se silnými oxidačními činidly, hořlavými nebo vznětlivými materiály. Tetrafluorid uhličitý je nehořlavý plyn. Pokud se setká se silným teplem, způsobí zvýšení vnitřního tlaku v nádobě a hrozí nebezpečí prasknutí a výbuchu. Obvykle může reagovat s kapalným amoniakem a kovovým činidlem sodíku pouze při pokojové teplotě.
Tetrafluorid uhličitýje v současnosti nejpoužívanějším plazmovým leptacím plynem v mikroelektronickém průmyslu. Může být široce používán při leptání křemíku, oxidu křemičitého, fosfosilikátového skla a dalších tenkovrstvých materiálů, čištění povrchu elektronických zařízení, výrobě solárních článků, laserové technologii, izolaci v plynné fázi, nízkoteplotním chlazení, detekci úniků a detergentech při výrobě plošných spojů, má širokou škálu aplikací.
Čas zveřejnění: 1. listopadu 2021
