Co jeUhlíkový tetrafluorid? Jaké je použití?
Uhlíkový tetrafluorid, také známý jako tetrafluoromethan, je považován za anorganickou sloučeninu. Používá se v procesu leptání v plazmě různých integrovaných obvodů a používá se také jako laserový plyn a chladivo. Je relativně stabilní při normální teplotě a tlaku, ale je nutné se vyhnout kontaktu se silnými oxidanty, hořlavými nebo hořlavými materiály. Uhlíkový tetrafluorid je nehořitelný plyn. Pokud narazí na vysokou teplotu, způsobí se zvýšení vnitřního tlaku nádoby a existuje nebezpečí praskání a exploze. Obvykle může interagovat pouze s kovovým činidlem kapalného amoniaku-sodného při teplotě místnosti.
Uhlíkový tetrafluoridje v současné době největším plazmatickým leptacím plynem používaným v mikroelektronickém průmyslu. Může být široce používán při leptání křemíkového, křemíkového oxidu, fosfosilikátového skla a dalších tenkých filmových materiálů, čištění povrchu elektronických zařízení, produkci solárních článků, laserové technologie, izolaci plynné fáze, chlazení s nízkou teplotou, detekční látky a detergenty v tištěné produkci.
Čas příspěvku: Nov-01-2021
