Co je fluorid uhličitý? Jaké je využití?

co jefluorid uhličitý? Jaké je využití?

Fluorid uhličitý, také známý jako tetrafluormethan, je považován za anorganickou sloučeninu. Používá se v procesu plazmového leptání různých integrovaných obvodů a také jako laserový plyn a chladivo. Za normální teploty a tlaku je relativně stabilní, je však nutné se vyvarovat kontaktu se silnými oxidanty, hořlavými nebo hořlavými materiály. Fluorid uhličitý je nehořlavý plyn. Pokud se setká s vysokým teplem, způsobí zvýšení vnitřního tlaku nádoby a hrozí nebezpečí prasknutí a výbuchu. Obvykle může interagovat pouze s kapalným kovovým činidlem amoniak-sodík při pokojové teplotě.

Fluorid uhličitýje v současnosti největší plazmový leptací plyn používaný v mikroelektronickém průmyslu. Může být široce používán při leptání křemíku, oxidu křemičitého, fosfosilikátového skla a dalších tenkovrstvých materiálů, čištění povrchu elektronických zařízení, výroba solárních článků, laserová technologie, izolace v plynné fázi, nízkoteplotní chlazení, detekce netěsností, a detergenty ve výrobě tištěných obvodů mají velké množství aplikací.