Elektronickýspeciální plynyjsou důležitou odvětví speciálních plynů. Pronikají téměř každé spojení výroby polovodičů a jsou nepostradatelnými surovinami pro výrobu elektronických průmyslových odvětví, jako jsou ultra velké integrované obvody, zařízení pro zobrazení plochých panelů a solární články.

V polovodičové technologii se široce používají plyny obsahující fluor. V současné době na globálním trhu s elektronickým plynem představují elektronické plyny obsahující fluor asi 30% z celkového počtu. Elektronické plyny obsahující fluor jsou důležitou součástí speciálních elektronických plynů v oblasti elektronických informačních materiálů. Používají se hlavně jako čisticí prostředky a leptací látky a mohou být také použity jako dopanty, filmové materiály atd. V tomto článku vás autor vezme, abyste pochopili běžné plyny obsahující fluorin.

Níže se běžně používají plyny obsahující fluor

Trifluorid dusíku (NF3): plyn používaný pro čištění a odstraňování usazenin, obvykle používaný pro čisticí reakční komory a povrchy zařízení.

Síra hexafluorid (SF6): Fluorizační činidlo používané v procesech ukládání oxidu a jako izolační plyn pro plnění izolačních médií.

Fluorid vodíku (HF): Používá se k odstranění oxidů z povrchu křemíku a jako leptání pro leptání křemíku a dalších materiálů.

Dusík fluorid (NF): Používá se k leptání materiálů, jako je nitrid křemíku (sin) a nitrid hlinitý (ALN).

Trifluoromethan (CHF3) aTetrafluoromethane (CF4): Slouží k leptání fluoridových materiálů, jako je křemíkový fluorid a hliník fluorid.

Plyny obsahující fluoriny však mají určitá nebezpečí, včetně toxicity, korozivity a hořlavosti.

Toxicita

Některé plyny obsahující fluoriny jsou toxické, jako je vodíkový fluorid (HF), jejichž pára je velmi dráždivá pro kůži a dýchací cesty a škodlivé pro lidské zdraví.

Korozivita

Fluorid vodíku a některé fluoridy jsou vysoce korozivní a mohou způsobit vážné poškození kůže, očí a dýchacích cest.

Hořlavost

Některé fluoridy jsou hořlavé a reagují s kyslíkem nebo vodou ve vzduchu, aby uvolnily intenzivní teplo a toxické plyny, což může způsobit oheň nebo explozi.

Vysokotlaké nebezpečí

Některé fluorované plyny jsou výbušné pod vysokým tlakem a vyžadují zvláštní péči při použití a skladování.

Dopad na životní prostředí

Plyny obsahující fluoriny mají vysokou atmosférickou životnost a hodnoty GWP, které mají destruktivní účinek na atmosférickou ozonovou vrstvu a mohou způsobit globální oteplování a znečištění životního prostředí.

Aplikace plynů v rozvíjejících se polích, jako je elektronika, se stále prohlubuje a přináší velké množství nové poptávky po průmyslových plynech. Na základě velkého množství nové výrobní kapacity hlavních elektronických komponent, jako jsou polovodiče a zobrazovací panely v pevninské Číně v příštích několika letech, a také silné poptávky po nahrazení elektronických chemických materiálů v dovozu, bude domácí průmysl elektronického plynu uveden ve vysoké míře růstu.