Elektronickýspeciální plynyjsou důležitým odvětvím speciálních plynů. Pronikají téměř každým článkem výroby polovodičů a jsou nepostradatelnou surovinou pro výrobu v elektronickém průmyslu, jako jsou ultra-velké integrované obvody, ploché displeje a solární články.

V polovodičové technologii se široce používají plyny obsahující fluor. V současné době tvoří na globálním trhu s elektronickými plyny přibližně 30 % z celkového množství fluorovaných elektronických plynů. Elektronické plyny obsahující fluor jsou důležitou součástí speciálních elektronických plynů v oblasti elektronických informačních materiálů. Používají se hlavně jako čisticí a leptací činidla a mohou být také použity jako příměsi, filmotvorné materiály atd. V tomto článku vás autor seznámí s běžnými plyny obsahujícími fluor.

Následující plyny obsahují běžně používané fluory

Fluorid dusitý (NF3): Plyn používaný k čištění a odstraňování usazenin, obvykle k čištění reakčních komor a povrchů zařízení.

Fluorid sírový (SF6)Fluorační činidlo používané v procesech nanášení oxidů a jako izolační plyn pro plnění izolačních médií.

Fluorovodík (HF): Používá se k odstraňování oxidů z povrchu křemíku a jako leptadlo pro leptání křemíku a dalších materiálů.

Fluorid dusnatý (NF): Používá se k leptání materiálů, jako je nitrid křemíku (SiN) a nitrid hliníku (AlN).

Trifluormethan (CHF3) atetrafluormethan (CF4)Používá se k leptání fluoridových materiálů, jako je fluorid křemičitý a fluorid hlinitý.

Plyny obsahující fluor však představují určitá nebezpečí, včetně toxicity, korozivní aktivity a hořlavosti.

Toxicita

Některé plyny obsahující fluor jsou toxické, například fluorovodík (HF), jehož páry silně dráždí kůži a dýchací cesty a jsou škodlivé pro lidské zdraví.

Korozivní účinnost

Fluorovodík a některé fluoridy jsou vysoce korozivní a mohou způsobit vážné poškození kůže, očí a dýchacích cest.

Hořlavost

Některé fluoridy jsou hořlavé a reagují s kyslíkem nebo vodou ve vzduchu za vzniku intenzivního tepla a toxických plynů, které mohou způsobit požár nebo výbuch.

Nebezpečí vysokého tlaku

Některé fluorované plyny jsou za vysokého tlaku výbušné a při jejich používání a skladování je třeba dbát zvláštní opatrnosti.

Dopad na životní prostředí

Plyny obsahující fluor mají vysokou životnost v atmosféře a hodnoty GWP, což má destruktivní vliv na ozonovou vrstvu atmosféry a může způsobit globální oteplování a znečištění životního prostředí.

Aplikace plynů v rozvíjejících se oblastech, jako je elektronika, se neustále prohlubuje, což s sebou nese velkou poptávku po průmyslových plynech. Vzhledem k velkému objemu nových výrobních kapacit hlavních elektronických součástek, jako jsou polovodiče a zobrazovací panely, v pevninské Číně v příštích několika letech a také k silné poptávce po substituci dovozu elektronických chemických materiálů, zaznamená domácí průmysl elektronických plynů vysoké tempo růstu.