Elektronickýspeciální plynyjsou důležitým odvětvím speciálních plynů. Pronikají téměř do všech článků výroby polovodičů a jsou nepostradatelnými surovinami pro výrobu elektronického průmyslu, jako jsou ultravelké integrované obvody, zařízení s plochými panely a solární články.

V polovodičové technologii se široce používají plyny obsahující fluor. V současné době na celosvětovém trhu s elektronickým plynem představují elektronické plyny obsahující fluor asi 30 % z celkového počtu. Elektronické plyny obsahující fluor jsou důležitou součástí speciálních elektronických plynů v oblasti elektronických informačních materiálů. Používají se především jako čisticí a leptací prostředky, lze je použít i jako příměsi, filmotvorné materiály atd. V tomto článku vás autor provede pochopením běžných plynů obsahujících fluor.

Níže jsou uvedeny běžně používané plyny obsahující fluor

Fluorid dusnatý (NF3): Plyn používaný k čištění a odstraňování usazenin, obvykle používaný k čištění reakčních komor a povrchů zařízení.

Hexafluorid sírový (SF6): Fluorační činidlo používané v procesech depozice oxidů a jako izolační plyn pro plnění izolačních médií.

Fluorovodík (HF): Používá se k odstranění oxidů z povrchu křemíku a jako leptadlo pro leptání křemíku a dalších materiálů.

Fluorid dusnatý (NF): Používá se k leptání materiálů, jako je nitrid křemíku (SiN) a nitrid hliníku (AlN).

trifluormethan (CHF3) atetrafluormethan (CF4): Používá se k leptání fluoridových materiálů, jako je fluorid křemíku a fluorid hlinitý.

Plyny obsahující fluor však mají určitá nebezpečí, včetně toxicity, žíravosti a hořlavosti.

Toxicita

Některé plyny obsahující fluor jsou toxické, jako je fluorovodík (HF), jehož páry silně dráždí kůži a dýchací cesty a jsou škodlivé pro lidské zdraví.

Žíravost

Fluorovodík a některé fluoridy jsou vysoce žíravé a mohou způsobit vážné poškození kůže, očí a dýchacích cest.

Hořlavost

Některé fluoridy jsou hořlavé a reagují s kyslíkem nebo vodou ve vzduchu a uvolňují intenzivní teplo a toxické plyny, které mohou způsobit požár nebo výbuch.

Nebezpečí vysokého tlaku

Některé fluorované plyny jsou pod vysokým tlakem výbušné a při používání a skladování vyžadují zvláštní péči.

Vliv na životní prostředí

Plyny obsahující fluor mají vysokou životnost v atmosféře a hodnoty GWP, které mají destruktivní účinek na ozonovou vrstvu atmosféry a mohou způsobit globální oteplování a znečištění životního prostředí.

Aplikace plynů v nově vznikajících oborech, jako je elektronika, se stále prohlubuje, což přináší velké množství nové poptávky po průmyslových plynech. Na základě velkého množství nových výrobních kapacit hlavních elektronických součástek, jako jsou polovodiče a zobrazovací panely v pevninské Číně v příštích několika letech, a také silné poptávky po náhradě dovozu elektronických chemických materiálů, domácí elektronický plynárenský průmysl zahájí vysoké tempo růstu.