Mezi běžné speciální elektronické plyny obsahující fluor patřífluorid sírový (SF6), hexafluorid wolframu (WF6),tetrafluorid uhličitý (CF4), trifluormethan (CHF3), fluorid dusíku (NF3), hexafluorethan (C2F6) a oktafluorpropan (C3F8).
S rozvojem nanotechnologií a rozsáhlým rozvojem elektronického průmyslu bude poptávka po něm den ode dne růst. Fluorid dusitý, jakožto nepostradatelný a nejpoužívanější speciální elektronický plyn při výrobě a zpracování panelů a polovodičů, má široký tržní prostor.
Jako druh speciálního plynu obsahujícího fluor,fluorid dusičitý (NF3)je speciální plyn pro elektroniku s největší tržní kapacitou. Je chemicky inertní při pokojové teplotě, aktivnější než kyslík při vysoké teplotě, stabilnější než fluor a snadno se s ním manipuluje. Fluorid dusitý se používá hlavně jako plazmový leptací plyn a čisticí prostředek reakčních komor a je vhodný pro výrobu polovodičových čipů, plochých displejů, optických vláken, fotovoltaických článků atd.
Ve srovnání s jinými elektronickými plyny obsahujícími fluor,fluorid dusičitýMá výhody rychlé reakce a vysoké účinnosti. Zejména při leptání materiálů obsahujících křemík, jako je nitrid křemíku, má vysokou rychlost leptání a selektivitu, takže na povrchu leptaného předmětu nezanechává žádné zbytky. Je také velmi dobrým čisticím prostředkem a neznečišťuje povrch, což splňuje potřeby procesu zpracování.
Čas zveřejnění: 14. září 2024
