Mezi společné speciální elektronické plyny obsahující fluoriny patříSíra hexafluorid (SF6), wolframový hexafluorid (WF6),uhlíkový tetrafluorid (CF4), trifluoromethan (CHF3), dusík trifluorid (NF3), hexafluoroethan (C2F6) a osmifluoropropan (C3F8).
S rozvojem nanotechnologie a rozsáhlým rozvojem elektronického průmyslu se jeho poptávka zvýší každý den. Trifluorid dusíku, jako nepostradatelný a největší speciální elektronický plyn při výrobě a zpracování panelů a polovodičů, má široký tržní prostor.
Jako typ speciálního plynu obsahujícího fluor,TIFLUORIDE NITROGEN (NF3)je elektronický speciální plynový produkt s největší tržní kapacitou. Je chemicky inertní při teplotě místnosti, aktivnější než kyslík při vysoké teplotě, stabilnější než fluor a snadno se s nimi manipuluje. Dusík trifluorid se používá hlavně jako plazmový leptací plyn a čisticí prostředky pro reakční komoru a je vhodné pro výrobní pole polovodičových čipů, plochých panelů, optická vlákna, fotovoltaické buňky atd.
Ve srovnání s jinými elektronickými plyny obsahujícími fluor,TIFLUORIDE NITROGENUMá výhody rychlé reakce a vysoké účinnosti. Zejména při leptání materiálů obsahujících křemík, jako je nitrid křemíku, má vysokou rychlost leptání a selektivitu, přičemž na povrchu leptaného objektu není žádný zbytek. Je to také velmi dobrý čisticí prostředek a nemá žádné znečištění na povrchu, které může vyhovovat potřebám procesu zpracování.
Čas příspěvku: sep-14-2024
