Mezi běžné elektronické plyny obsahující fluor patřífluorid sírový (SF6), hexafluorid wolframu (WF6),fluorid uhličitý (CF4)trifluormethan (CHF3), fluorid dusitý (NF3), hexafluorethan (C2F6) a oktafluorpropan (C3F8).
S rozvojem nanotechnologií a rozsáhlým rozvojem elektronického průmyslu se jeho poptávka bude den ode dne zvyšovat. Fluorid dusnatý jako nepostradatelný a nejrozšířenější speciální elektronický plyn při výrobě a zpracování panelů a polovodičů má široký tržní prostor.
Jako druh speciálního plynu obsahujícího fluor,fluorid dusitý (NF3)je elektronický speciální plynový produkt s největší tržní kapacitou. Je chemicky inertní při pokojové teplotě, aktivnější než kyslík při vysoké teplotě, stabilnější než fluor a snadno se s ním manipuluje. Fluorid dusnatý se používá hlavně jako plazmový leptací plyn a prostředek pro čištění reakčních komor a je vhodný pro výrobní oblasti polovodičových čipů, plochých panelových displejů, optických vláken, fotovoltaických článků atd.
Ve srovnání s jinými elektronickými plyny obsahujícími fluor,fluorid dusitýmá výhody rychlé reakce a vysoké účinnosti. Zejména při leptání materiálů obsahujících křemík, jako je nitrid křemíku, má vysokou rychlost leptání a selektivitu a nezanechává na povrchu leptaného předmětu žádné zbytky. Je to také velmi dobrý čisticí prostředek a nemá žádné znečištění povrchu, což může vyhovět potřebám procesu zpracování.
Čas odeslání: 14. září 2024
