Největší množství elektronického speciálního plynu – fluoridu dusnatého NF3

Naše země si udržuje vysokou úroveň prosperity v polovodičovém a panelovém průmyslu. Fluorid dusitý, jakožto nepostradatelný a objemově nejrozšířenější speciální elektronický plyn při výrobě a zpracování panelů a polovodičů, má široký tržní prostor.

Mezi běžně používané speciální elektronické plyny obsahující fluor patřífluorid sírový (SF6), hexafluorid wolframu (WF6),tetrafluorid uhličitý (CF4), trifluormethan (CHF3), fluorid dusičitý (NF3), hexafluorethan (C2F6) a oktafluorpropan (C3F8). Fluorid dusičitý (NF3) se používá hlavně jako zdroj fluoru pro vysokoenergetické chemické lasery s fluorovodíkovým plynem a fluoridem. Efektivní část (asi 25 %) reakční energie mezi H2-O2 a F2 může být uvolněna laserovým zářením, takže HF-OF lasery jsou nejslibnějšími lasery mezi chemickými lasery.

Fluorid dusitý je vynikající plazmový leptací plyn v mikroelektronickém průmyslu. Pro leptání křemíku a nitridu křemičitého má trifluorid dusitý vyšší rychlost leptání a selektivitu než tetrafluorid uhlíku a směs tetrafluoridu uhlíku a kyslíku a neznečišťuje povrch. Zejména při leptání materiálů integrovaných obvodů s tloušťkou menší než 1,5 μm má trifluorid dusitý velmi vynikající rychlost leptání a selektivitu, nezanechává žádné zbytky na povrchu leptaného předmětu a je také velmi dobrým čisticím prostředkem. S rozvojem nanotechnologií a rozsáhlým rozvojem elektronického průmyslu bude jeho poptávka den ode dne růst.

Fluorid dusitý (NF3) je jakožto typ speciálního plynu obsahujícího fluor nejrozšířenějším produktem elektronického speciálního plynu na trhu. Je chemicky inertní při pokojové teplotě, aktivnější než kyslík, stabilnější než fluor a snadno se s ním manipuluje i při vysokých teplotách.

Fluorid dusitý se používá hlavně jako plazmový leptací plyn a čisticí prostředek pro reakční komory, vhodný pro výrobní oblasti, jako jsou polovodičové čipy, ploché displeje, optická vlákna, fotovoltaické články atd.

Ve srovnání s jinými elektronickými plyny obsahujícími fluor má fluorid dusičitý výhody rychlé reakce a vysoké účinnosti, zejména při leptání materiálů obsahujících křemík, jako je nitrid křemíku. Má vysokou rychlost leptání a selektivitu, nezanechává žádné zbytky na povrchu leptaného předmětu a je také velmi dobrým čisticím prostředkem, neznečišťuje povrch a dokáže uspokojit potřeby procesu zpracování.