silanje sloučenina křemíku a vodíku a je obecným termínem pro řadu sloučenin. Silan zahrnuje především monosilan (SiH4), disilan (Si2H6) a některé sloučeniny křemíku vodíku vyšší úrovně s obecným vzorcem SinH2n+2. Ve skutečné výrobě však obecně označujeme monosilan (chemický vzorec SiH4) jako „silan“.

Elektronická kvalitasilanový plynse získává především různou reakční destilací a čištěním křemíkového prášku, vodíku, chloridu křemičitého, katalyzátoru atd. Silan o čistotě 3N až 4N se nazývá silan průmyslové kvality a silan o čistotě vyšší než 6N se nazývá elektronický- kvalitní silanový plyn.

Jako zdroj plynu pro přenášení křemíkových součástek,silanový plynse stal důležitým speciálním plynem, který nemůže být nahrazen mnoha jinými zdroji křemíku kvůli jeho vysoké čistotě a schopnosti dosáhnout jemné regulace. Monosilan generuje krystalický křemík pyrolýzní reakcí, která je v současnosti jednou z metod velkosériové výroby granulovaného monokrystalického křemíku a polykrystalického křemíku ve světě.

Vlastnosti silanu

silan (SiH4)je bezbarvý plyn, který reaguje se vzduchem a způsobuje udušení. Jeho synonymem je hydrid křemíku. Chemický vzorec silanu je SiH4 a jeho obsah je až 99,99 %. Při pokojové teplotě a tlaku je silan zapáchající toxický plyn. Bod tání silanu je -185 ℃ a bod varu je -112 ℃. Při pokojové teplotě je silan stabilní, ale při zahřátí na 400 ℃ se zcela rozloží na plynný křemík a vodík. Silan je hořlavý a výbušný a výbušně hoří ve vzduchu nebo halogenovém plynu.

Oblasti použití

Silan má široké využití. Kromě toho, že je to nejúčinnější způsob, jak přichytit molekuly křemíku k povrchu článku během výroby solárních článků, je také široce používán ve výrobních závodech, jako jsou polovodiče, ploché panely a skla s povlakem.

silanje zdrojem křemíku pro procesy chemické depozice z plynné fáze, jako je monokrystalický křemík, polykrystalické křemíkové epitaxní destičky, oxid křemičitý, nitrid křemíku a fosfosilikátové sklo v polovodičovém průmyslu a je široce používán při výrobě a vývoji solárních článků, křemíkových kopírovacích bubnů , fotoelektrické senzory, optická vlákna a speciální sklo.

V posledních letech se stále objevují high-tech aplikace silanů, včetně výroby pokročilé keramiky, kompozitních materiálů, funkčních materiálů, biomateriálů, vysokoenergetických materiálů atd., které se stávají základem mnoha nových technologií, nových materiálů a nových materiálů. zařízení.