Použití hexafluoridu wolframu (WF6)

Hexafluorid wolframu (WF6) je nanesen na povrch plátku pomocí procesu CVD, čímž se vyplní kovové propojovací žlábky a vytvoří se kovové propojení mezi vrstvami.

Nejprve si povíme něco o plazmě. Plazma je forma hmoty složená převážně z volných elektronů a nabitých iontů. Ve vesmíru existuje široce a je často považován za čtvrtý stav hmoty. Říká se tomu plazmatický stav, také nazývaný „plazma“. Plazma má vysokou elektrickou vodivost a má silný vazebný účinek s elektromagnetickým polem. Je to částečně ionizovaný plyn složený z elektronů, iontů, volných radikálů, neutrálních částic a fotonů. Samotné plazma je elektricky neutrální směs obsahující fyzikálně a chemicky aktivní částice.

Přímé vysvětlení je, že při působení vysoké energie molekula překoná van der Waalsovu sílu, sílu chemické vazby a Coulombovu sílu a jako celek představuje formu neutrální elektřiny. Současně vysoká energie dodávaná zvenčí překonává výše uvedené tři síly. Funkce, elektrony a ionty představují volný stav, který lze uměle využít při modulaci magnetického pole, jako je proces leptání polovodičů, proces CVD, proces PVD a IMP.

Co je to vysoká energie? Teoreticky lze použít vysokoteplotní i vysokofrekvenční RF. Obecně řečeno, vysoké teploty je téměř nemožné dosáhnout. Tento požadavek na teplotu je příliš vysoký a může se blížit teplotě slunce. V procesu je v podstatě nemožné dosáhnout. Průmysl proto k jeho dosažení obvykle používá vysokofrekvenční RF. Plazmové RF může dosáhnout až 13 MHz+.

Hexafluorid wolframu je plazmaizován působením elektrického pole a poté napařován magnetickým polem. W atomy jsou podobné zimnímu husímu peří a padají na zem působením gravitace. Pomalu jsou atomy W ukládány do průchozích otvorů a nakonec plněny průchozími otvory za účelem vytvoření kovových propojení. Budou kromě ukládání atomů W do průchozích otvorů také ukládány na povrch Waferu? Ano, určitě. Obecně lze říci, že k odstranění můžete použít proces W-CMP, kterému říkáme proces mechanického broušení. Je to podobné, jako když používáte smeták k zametání podlahy po těžkém sněhu. Sníh na zemi je zameten, ale sníh v díře na zemi zůstane. Dolů, zhruba stejně.