Použití hexafluoridu wolframu (WF6)

Hexafluorid wolframu (WF6) je nanesen na povrch plátku pomocí procesu CVD, čímž se vyplní kovové propojovací žlábky a vytvoří se kovové propojení mezi vrstvami.

Nejprve si povíme něco o plazmě.Plazma je forma hmoty složená převážně z volných elektronů a nabitých iontů.Ve vesmíru existuje široce a je často považován za čtvrtý stav hmoty.Říká se tomu plazmatický stav, také nazývaný „plazma“.Plazma má vysokou elektrickou vodivost a má silný vazebný účinek s elektromagnetickým polem.Je to částečně ionizovaný plyn složený z elektronů, iontů, volných radikálů, neutrálních částic a fotonů.Samotné plazma je elektricky neutrální směs obsahující fyzikálně a chemicky aktivní částice.

Přímé vysvětlení je, že při působení vysoké energie molekula překoná van der Waalsovu sílu, sílu chemické vazby a Coulombovu sílu a jako celek představuje formu neutrální elektřiny.Současně vysoká energie dodávaná zvenčí překonává výše uvedené tři síly.Funkce, elektrony a ionty představují volný stav, který lze uměle využít při modulaci magnetického pole, jako je proces leptání polovodičů, proces CVD, proces PVD a IMP.

Co je to vysoká energie?Teoreticky lze použít vysokoteplotní i vysokofrekvenční RF.Obecně řečeno, vysoké teploty je téměř nemožné dosáhnout.Tento požadavek na teplotu je příliš vysoký a může se blížit teplotě slunce.V procesu je v podstatě nemožné dosáhnout.Průmysl proto k jeho dosažení obvykle používá vysokofrekvenční RF.Plazmové RF může dosáhnout až 13 MHz+.

Hexafluorid wolframu je plazmaizován působením elektrického pole a poté napařován magnetickým polem.W atomy jsou podobné zimnímu husímu peří a padají na zem působením gravitace.Pomalu jsou atomy W ukládány do průchozích otvorů a nakonec plněny průchozími otvory za účelem vytvoření kovových propojení.Budou kromě ukládání atomů W do průchozích otvorů také ukládány na povrch Waferu?Ano, určitě.Obecně lze říci, že k odstranění můžete použít proces W-CMP, kterému říkáme proces mechanického broušení.Je to podobné, jako když používáte smeták k zametání podlahy po těžkém sněhu.Sníh na zemi je zameten, ale sníh v díře na zemi zůstane.Dolů, zhruba stejně.