Použití wolframového hexafluoridu (WF6)

Wolframový hexafluorid (WF6) je uložen na povrch destičky v procesu CVD, vyplňuje kovové propojené zákopy a vytváří kovové propojení mezi vrstvami.

Pojďme si nejprve promluvit o plazmě. Plazma je forma hmoty složené hlavně z volných elektronů a nabitých iontů. Ve vesmíru je široce široce a je často považován za čtvrtý stav hmoty. Říká se tomu plazmatický stav, také nazývaný „plazma“. Plazma má vysokou elektrickou vodivost a má silný vazebný účinek s elektromagnetickým polem. Jedná se o částečně ionizovaný plyn, složený z elektronů, iontů, volných radikálů, neutrálních částic a fotonů. Samotná plazma je elektricky neutrální směs obsahující fyzicky a chemicky aktivní částice.

Přímým vysvětlením je, že molekula pod působením vysoké energie překoná sílu van der Waals, sílu chemické vazby a Coulomb Force a představuje formu neutrální elektřiny jako celku. Současně vysoká energie předává vnějšího překonání výše uvedených tří sil. Funkce, elektrony a ionty představují volný stav, který lze uměle používat při modulaci magnetického pole, jako je proces leptání polovodiče, proces CVD, PVD a IMP Proces.

Co je vysoká energie? Teoreticky lze použít vysokou teplotu i vysokofrekvenční RF. Obecně lze říci, že vysoká teplota je téměř nemožné dosáhnout. Tento teplotní požadavek je příliš vysoký a může být blízko teploty Slunce. Je v podstatě nemožné dosáhnout v tomto procesu. Proto toto odvětví obvykle používá k jeho dosažení vysokofrekvenční RF. Plazma RF může dosáhnout až 13 MHz+.

Wolframový hexafluorid se plazma je plazma pod působením elektrického pole a poté je páry uloženo magnetickým polem. Atomy W jsou podobné zimnímu husího peří a padají na zem pod účinností gravitace. Atomy W jsou pomalu ukládány do otvorů a nakonec plné skrz otvory za vzniku kovových propojení. Kromě ukládání atomů W v otvorech budou také uloženy na povrchu oplatky? Ano, určitě. Obecně lze říci, že můžete použít proces W-CMP, což je to, čemu říkáme mechanický broušení. Je to podobné použití koštěti k zametání podlahy po těžkém sněhu. Sníh na zemi je smeten pryč, ale sníh v díře na zemi zůstane. Dolů, zhruba stejný.