Použití fluoridu wolframového (WF6)

Fluorid wolframový (WF6) se nanáší na povrch destičky pomocí CVD procesu, čímž vyplňuje kovové propojovací drážky a vytváří kovové propojení mezi vrstvami.

Nejprve si povíme o plazmatu. Plazma je forma hmoty složená převážně z volných elektronů a nabitých iontů. Existuje ve vesmíru široce rozšířená a často je považována za čtvrtý stav hmoty. Nazývá se plazmatický stav, také nazývaný „plazma“. Plazma má vysokou elektrickou vodivost a silný vazebný efekt s elektromagnetickým polem. Je to částečně ionizovaný plyn složený z elektronů, iontů, volných radikálů, neutrálních částic a fotonů. Samotná plazma je elektricky neutrální směs obsahující fyzikálně a chemicky aktivní částice.

Jednoduché vysvětlení je, že pod působením vysoké energie molekula překoná van der Waalsovu sílu, chemickou vazebnou sílu a Coulombovu sílu a jako celek vykazuje formu neutrálního elektřiny. Zároveň vysoká energie dodaná zvenčí překonává výše uvedené tři síly. Funkce elektronů a iontů spočívá ve volném stavu, který lze uměle využít při modulaci magnetického pole, například při leptání polovodičů, CVD, PVD a IMP.

Co je vysoká energie? Teoreticky lze použít vysokofrekvenční i vysokofrekvenční rádiové záření. Obecně řečeno, vysoké teploty je téměř nemožné dosáhnout. Tento teplotní požadavek je příliš vysoký a může se blížit teplotě Slunce. V podstatě je nemožné ho v tomto procesu dosáhnout. Proto se v průmyslu k jeho dosažení obvykle používá vysokofrekvenční rádiové záření. Plazmové rádiové záření může dosáhnout až 13 MHz+.

Hexafluorid wolframu se plazmatizuje působením elektrického pole a poté se magnetickým polem napařuje. Atomy W jsou podobné zimnímu husímu peří a padají na zem působením gravitace. Atomy W se pomalu ukládají do průchozích otvorů a nakonec se zaplní plnými průchozími otvory, čímž vytvoří kovová propojení. Budou se atomy W kromě ukládání do průchozích otvorů usazovat i na povrchu destičky? Ano, určitě. Obecně řečeno, k odstranění lze použít proces W-CMP, kterému říkáme mechanické broušení. Je to podobné jako použití koštěte k zametání podlahy po silném sněžení. Sníh na zemi se smete, ale sníh v otvoru na zemi zůstane. Dole zhruba stejně.