V roce 2018 dosáhl globální trh s elektronickým plynem pro integrované obvody 4,512 miliardy USD, což představuje meziroční nárůst o 16 %. Vysoké tempo růstu elektronického speciálního plynového průmyslu pro polovodiče a obrovská velikost trhu urychlily domácí plán náhrady elektronického speciálního plynu!
Co je elektronový plyn?
Elektronický plyn označuje základní zdrojový materiál používaný při výrobě polovodičů, plochých panelových displejů, světelných diod, solárních článků a dalších elektronických produktů a je široce používán při čištění, leptání, tvorbě filmu, dopingu a dalších procesech. Mezi hlavní oblasti použití elektronického plynu patří elektronický průmysl, solární články, mobilní komunikace, automobilová navigace a automobilové audio a video systémy, letecký a kosmický průmysl, vojenský průmysl a mnoho dalších oborů.
Elektronický speciální plyn lze rozdělit do sedmi kategorií podle vlastního chemického složení: křemík, arsen, fosfor, bor, hydrid kovu, halogenid a alkoxid kovu. Podle různých aplikačních metod v integrovaných obvodech jej lze rozdělit na dopingový plyn, epitaxní plyn, iontový implantační plyn, světelný diodový plyn, leptací plyn, chemický depoziční plyn a bilanční plyn. V polovodičovém průmyslu se používá více než 110 jednotek speciálních plynů, z nichž více než 30 se běžně používá.
Obecně průmysl výroby polovodičů rozděluje plyny na dva typy: běžné plyny a speciální plyny. Mezi nimi se běžně používaný plyn vztahuje k centralizovanému zásobování a využívá velké množství plynu, jako je N2, H2, O2, Ar, He atd. Speciálním plynem jsou označovány některé chemické plyny používané v procesu výroby polovodičů, jako např. extenze, vstřikování iontů, míchání, promývání a tvorba masky, což je to, co nyní nazýváme elektronickým speciálním plynem, jako je vysoce čistý SiH4, PH3, AsH3, B2H6, N2O, NH3, SF6, NF3, CF4, BCl3, BF3, HCl, Cl2 atd.
V celém výrobním procesu polovodičového průmyslu, od růstu čipu až po konečné balení zařízení, je téměř každý článek neoddělitelný od elektronického speciálního plynu a rozmanitosti používaného plynu a vysokých požadavků na kvalitu, takže elektronický plyn má polovodičové materiály. "Jídlo".
V posledních letech vzrostly nové výrobní kapacity hlavních čínských elektronických součástek, jako jsou polovodiče a zobrazovací panely, a existuje silná poptávka po dovozu elektronických chemických materiálů. Postavení elektronických plynů v polovodičovém průmyslu je stále významnější. Domácí elektronický plynárenský průmysl zahájí rychlý růst.
Elektronický speciální plyn má velmi vysoké požadavky na čistotu, protože pokud čistota neodpovídá požadavkům, skupiny nečistot, jako je vodní pára a kyslík v elektronickém speciálním plynu, snadno vytvoří na povrchu polovodiče oxidový film, který ovlivňuje životnost elektronických zařízení a elektronický speciální plyn obsahuje Částice nečistot mohou způsobit zkraty polovodičů a poškození obvodu. Dá se říci, že zlepšení čistoty hraje zásadní roli ve výtěžnosti a výkonu výroby elektronických zařízení.
S neustálým rozvojem polovodičového průmyslu se proces výroby čipů neustále zlepšuje a nyní dosáhl 5nm, což se blíží hranici Moorova zákona, která se rovná jedné dvacetině průměru lidského vlasu ( asi 0,1 mm). To také klade vyšší požadavky na čistotu elektronického speciálního plynu produkovaného polovodiči.
Čas odeslání: 15. prosince 2021
