V roce 2018 dosáhl globální trh s elektronickým plynem pro integrované obvody 4,512 miliardy USD, což je meziroční nárůst o 16%. Vysoká míra růstu elektronického speciálního plynového průmyslu pro polovodiče a obrovská velikost trhu urychlily domácí substituční plán elektronického speciálního plynu!
Co je to elektronový plyn?
Elektronický plyn se týká základního zdrojového materiálu používaného při výrobě polovodičů, displejů plochých panelů, diodů emitujících světly, solárních článků a dalších elektronických produktů a je široce používán při čištění, leptání, tvorbě filmu, dopingu a dalších procesech. Mezi hlavní aplikační oblasti elektronického plynu patří elektronický průmysl, solární články, mobilní komunikace, navigace v autě a audio a video systémy, letecký průmysl, vojenský průmysl a mnoho dalších oborů.
Elektronický speciální plyn lze rozdělit do sedmi kategorií podle vlastního chemického složení: křemík, arsen, fosfor, boron, kovový hydrid, halogenid a kovový alkoxid. Podle různých aplikačních metod v integrovaných obvodech může být rozdělena do dopingového plynu, epitaxiálního plynu, iontového implantačního plynu, diodového plynu emitujícího světla, plyn, plyn pro ukládání chemických par a rovnovážný plyn. V polovodičovém průmyslu se používá více než 110 jednotek speciálních plynů, z nichž se běžně používá více než 30.
Obecně platí, že průmysl výroby polovodičů rozděluje plyny na dva typy: běžné plyny a speciální plyny. Among them, the commonly used gas refers to a centralized supply and uses a lot of gas, such as N2, H2, O2, Ar, He, etc. Special gas refers to some chemical gases used in the process of semiconductor production, such as extension, ion injection, blending, washing, and mask formation, which is what we now call electronic special gas, such as high-purity SiH4, PH3, AsH3, B2H6, N2O, NH3, SF6, NF3, CF4, BCL3, BF3, HCI, CL2 atd.
V celém výrobním procesu polovodičového průmyslu, od růstu čipů po konečné balení zařízení, je téměř každý odkaz neoddělitelný od elektronického speciálního plynu a rozmanitost použitého plynu a vysoce kvalitní požadavky, takže elektronický plyn má polovodičové materiály. "Jídlo".
V posledních letech se v nové výrobní kapacitě zvýšily hlavní elektronické komponenty Číny, jako jsou polovodiče a zobrazovací panely, a existuje silná poptávka po nahrazení elektronických chemických materiálů. Poloha elektronických plynů v polovodičovém průmyslu se stala stále výraznější. Domácí elektronický plynový průmysl bude mít rychlý růst.
Elektronický speciální plyn má velmi vysoké požadavky na čistotu, protože pokud čistota není na základě požadavků, skupiny nečistot, jako je vodní pára a kyslík v elektronickém speciálním plynu, snadno vytvoří oxidový film na povrchu polovodiče, který ovlivňuje životnost elektronických zařízení a elektronický speciální plyn obsahuje nečistoty nečistot. Lze říci, že zlepšení čistoty hraje zásadní roli při výnosu a výkonu výroby elektronických zařízení.
S nepřetržitým rozvojem polovodičového průmyslu se proces výroby čipů neustále zlepšuje a nyní dosáhl 5nm, který se chystá přistupovat k limitu Mooreova zákona, který je ekvivalentní dvacátému průměru lidských vlasů (asi 0,1 mm). Proto to také klade vyšší požadavky na čistotu elektronického speciálního plynu produkovaného polovodiči.
Čas příspěvku: prosince-15-2021
