V roce 2018 dosáhl globální trh s elektronickými plyny pro integrované obvody hodnoty 4,512 miliardy USD, což představuje meziroční nárůst o 16 %. Vysoké tempo růstu odvětví elektronických speciálních plynů pro polovodiče a obrovská velikost trhu urychlily plán domácí substituce elektronických speciálních plynů!
Co je elektronový plyn?
Elektronický plyn je základní surovinou používanou při výrobě polovodičů, plochých displejů, světelných diod, solárních článků a dalších elektronických výrobků a je široce používán při čištění, leptání, tvorbě filmů, dopování a dalších procesech. Mezi hlavní oblasti použití elektronického plynu patří elektronický průmysl, solární články, mobilní komunikace, automobilová navigace a automobilové audio a video systémy, letecký průmysl, vojenský průmysl a mnoho dalších oborů.
Elektronické speciální plyny lze rozdělit do sedmi kategorií podle jejich chemického složení: křemík, arsen, fosfor, bor, hydrid kovu, halogenid a alkoxid kovu. Podle různých metod aplikace v integrovaných obvodech je lze rozdělit na dopující plyn, epitaxní plyn, plyn pro iontovou implantaci, plyn pro světelné diody, leptací plyn, plyn pro chemické nanášení z plynné fáze a vyrovnávací plyn. V polovodičovém průmyslu se používá více než 110 druhů speciálních plynů, z nichž více než 30 se používá běžně.
Obecně se v polovodičovém průmyslu plyny dělí na dva typy: běžné plyny a speciální plyny. Mezi nimi se běžně používaný plyn vztahuje na centralizovaný zdroj a spotřebovává velké množství plynu, jako je N2, H2, O2, Ar, He atd. Speciální plyn označuje některé chemické plyny používané v procesu výroby polovodičů, jako je extenze, iontová injekce, míchání, promývání a tvorba masky, což je to, co dnes nazýváme elektronickým speciálním plynem, jako je vysoce čistý SiH4, PH3, AsH3, B2H6, N2O, NH3, SF6, NF3, CF4, BCl3, BF3, HCl, Cl2 atd.
V celém výrobním procesu polovodičového průmyslu, od vývoje čipů až po finální balení zařízení, je téměř každý článek neoddělitelně spojen se speciálním elektronickým plynem a rozmanitostí použitého plynu a vysokými požadavky na kvalitu, takže elektronický plyn má polovodičové materiály. „Potraviny“.
V posledních letech se v Číně zvýšila výrobní kapacita hlavních elektronických součástek, jako jsou polovodiče a zobrazovací panely, a existuje silná poptávka po dovozu elektronických chemických materiálů. Postavení elektronických plynů v polovodičovém průmyslu se stává stále významnějším. Domácí průmysl elektronických plynů bude směřovat k rychlému růstu.
Speciální plyn pro elektroniku má velmi vysoké požadavky na čistotu, protože pokud čistota neodpovídá požadavkům, nečistoty, jako je vodní pára a kyslík, snadno vytvoří oxidový film na povrchu polovodiče, což ovlivňuje životnost elektronických zařízení. Speciální plyn pro elektroniku obsahuje částice nečistot, které mohou způsobit zkraty polovodičů a poškození obvodů. Lze říci, že zlepšení čistoty hraje zásadní roli ve výtěžnosti a výkonu elektronických zařízení.
S neustálým rozvojem polovodičového průmyslu se proces výroby čipů neustále zlepšuje a nyní dosáhl 5nm, což se blíží hranici Mooreova zákona, která odpovídá jedné dvacetině průměru lidského vlasu (přibližně 0,1 mm). To také klade vyšší požadavky na čistotu elektronického speciálního plynu produkovaného polovodiči.
Čas zveřejnění: 15. prosince 2021
