Chlorovodíkje bezbarvý plyn se štiplavým zápachem. Jeho vodný roztok se nazývá kyselina chlorovodíková, také známá jako kyselina chlorovodíková. Chlorovodík je velmi dobře rozpustný ve vodě. Při 0 °C se v 1 objemu vody rozpustí asi 500 objemů chlorovodíku.

Má následující vlastnosti a charakteristiky:

1. Vysoká čistota

Čistota elektronické kvalitychlorovodíkje velmi vysoká, obvykle na úrovni ppm nebo nižší, aby se zajistilo, že do procesu výroby polovodičů nedojdou žádné nečistoty.

2. Nečinnost

Je to chemicky inertní plyn, který nereaguje s mnoha jinými látkami, což je velmi důležité pro prevenci kontaminace polovodičových materiálů a zařízení.

3. Vysoká stabilita

Elektronická třídachlorovodíkmá obecně stabilní chemické složení, aby bylo zajištěno spolehlivé zpracování polovodičů.

Při zpracování polovodičů patří mezi hlavní aplikace chlorovodíku elektronické kvality:

1. Čištění a příprava povrchu

Jako účinný čistič povrchů, elektronické kvalitychlorovodíkse používá k odstranění oxidů a nečistot z povrchu substrátu, aby byla zajištěna kvalita a čistota epitaxní vrstvy nebo filmu.

2. Epitaxní růstová pomůcka

Používá se jako činidlo pro povrchovou úpravu v epitaxním procesu a pomáhá zlepšit kvalitu epitaxní vrstvy, zlepšit mřížkové sladění a snížit tvorbu mřížkových defektů.

3. Předúprava substrátu

Před přípravou polovodičových součástek, elektronické kvalitychlorovodíklze použít k úpravě povrchu substrátu za účelem vytvoření stabilního podkladu pro zlepšení adheze mezi epitaxní vrstvou a substrátem.

4. Pomocné činidlo pro nanášení

V procesu chemické depozice z plynné fáze (CVD) nebo fyzikální depozice z plynné fáze (PVD) lze jako přenosové médium v ​​plynné fázi použít chlorovodík elektronické kvality, který se účastní depoziční reakce polovodičových materiálů.

5. Činidlo pro přenos v plynné fázi

Jako činidlo pro přenos v plynné fázi se do reakční komory zavádějí další plynné prekurzory, které pomáhají upravit rychlost nanášení a rovnoměrnost materiálu.

Díky těmto vlastnostem je elektronická kvalitachlorovodíkdůležitý procesní prostředek v polovodičové technologii, který má klíčový vliv na výkon a spolehlivost konečného zařízení.

Kromě použití při zpracování polovodičů může chlorovodík elektronické kvality najít řadu využití i v dalších oblastech, včetně: přípravy vysoce čistých materiálů, palivových článků, růstu polovodičových materiálů, litografie v plynné fázi, analýzy materiálů a chemického výzkumu.

Obecně platí, že elektronická třídachlorovodíkje všestranný, vysoce čistý plyn, který má širokou škálu uplatnění i mimo výrobu polovodičů.