Chlorovodíkje bezbarvý plyn s štiplavým zápachem. Jeho vodný roztok se nazývá kyselina chlorovodíková, známá také jako kyselina chlorovodíková. Chlorid vodíku je velmi rozpustný ve vodě. Při 0 ° C může 1 objem vody rozpustit asi 500 objemů chloradu.

Má následující vlastnosti a vlastnosti:

1. Vysoká čistota

Čistota elektronického stupněchlorovodíkje velmi vysoká, obvykle na PPM nebo na nižší úrovni, aby se zajistilo, že do procesu výroby polovodičů nejsou zavedeny žádné nečistoty.

2. Inerty

Je to chemicky inertní plyn, který nereaguje s mnoha jinými látkami, což je velmi důležité zabránit kontaminaci polovodičových materiálů a zařízení.

3. vysoká stabilita

Elektronická třídachlorovodíkObecně má stabilní chemii pro zajištění spolehlivého polovodičového zpracování.

Při zpracování polovodiče patří hlavní aplikace chlorového chloridu elektronického stupně:

1. Čištění a příprava povrchu

Jako efektivní čistič povrchu, elektronický stupeňchlorovodíkse používá k odstranění oxidů a nečistot z povrchu substrátu, aby byla zajištěna kvalita a čistotu epitaxiální vrstvy nebo filmu.

2. Pomůcka pro růstový růst

Používá se jako činidlo pro úpravu povrchu v epitaxiálním procesu a pomáhá zlepšit kvalitu epitaxiální vrstvy, zlepšit porovnávání mřížky a snižovat tvorbu defektů mřížky.

3. předběžné ošetření substrátu

Před přípravou polovodičových zařízení, elektronická známkachlorovodíkLze použít k ošetření povrchu substrátu za vzniku stabilní báze pro zlepšení adheze mezi epitaxiální vrstvou a substrátem.

4. depozice pomocného činidla

V procesu chemické depozice párů (CVD) nebo depozice fyzikální páry (PVD) může být elektronický stupeň chlorid vodíku použit jako médium přenosu plynné fáze k účasti na depoziční reakci polovodičových materiálů.

5. Agent přenosu plynné fáze

Jako činidlo pro přenos plynné fáze jsou do reakční komory zavedeny další plynné prekurzory, které pomáhají upravit míru depozice a uniformitu materiálu.

Tyto vlastnosti činí elektronickou známkuchlorovodíkdůležitý zpracovatelský činidlo v polovodičové technologii, která má klíčový dopad na výkon a spolehlivost konečného zařízení.

Kromě použití při zpracování polovodiče může elektronický chlorovodík na najít různé použití v jiných oblastech, včetně: přípravy materiálů s vysokou čistotou, palivových článků, růstu polovodičového materiálu, litografie páry, analýzy materiálu, chemického výzkumu.

Obecně, elektronický stupeňchlorovodíkje všestranný, vysoce čistotní plyn, který má širokou škálu aplikací mimo výrobu polovodičů.