Laserový plyn

Laserový plyn se používá hlavně pro laserové žíhání a litografický plyn v elektronickém průmyslu. Díky inovacím obrazovek mobilních telefonů a rozšíření aplikačních oblastí se rozsah trhu s nízkoteplotním polysilikonem dále rozšíří a proces laserového žíhání výrazně zlepšil výkon TFT. Mezi neonovými, fluorovými a argonovými plyny používanými v ArF excimerovém laseru pro výrobu polovodičů tvoří neon více než 96 % směsi laserových plynů. Se zdokonalením polovodičové technologie se zvýšilo používání excimerových laserů a zavedení technologie dvojité expozice vedlo k prudkému nárůstu poptávky po neonovém plynu spotřebovávaném ArF excimerovými lasery. Díky podpoře lokalizace elektronických speciálních plynů budou mít domácí výrobci v budoucnu lepší prostor pro růst trhu.

Litografický stroj je základním vybavením výroby polovodičů. Litografie definuje velikost tranzistorů. Koordinovaný vývoj řetězce litografického průmyslu je klíčem k průlomu litografických strojů. Odpovídající polovodičové materiály, jako je fotorezist, fotolitografický plyn, fotomaska ​​a povlakovací a vyvolávací zařízení, mají vysoký technologický obsah. Litografický plyn je plyn, který litografický stroj generuje hluboký ultrafialový laser. Různé litografické plyny mohou produkovat světelné zdroje různých vlnových délek a jejich vlnová délka přímo ovlivňuje rozlišení litografického stroje, který je jedním z jader litografického stroje. V roce 2020 bude celkový celosvětový prodej litografických strojů činit 413 kusů, z toho prodeje ASML 258 kusů tvořily 62 %, prodeje Canon 122 kusů tvořily 30 % a prodeje Nikonu 33 kusů 8 %.


Čas odeslání: 15. října 2021