Chlorid boritý (BCl3)je anorganická sloučenina běžně používaná v procesech suchého leptání a chemické depozice z plynné fáze (CVD) při výrobě polovodičů. Je to bezbarvý plyn se silným štiplavým zápachem při pokojové teplotě a je citlivý na vlhký vzduch, protože hydrolyzuje za vzniku kyseliny chlorovodíkové a kyseliny borité.

Aplikace chloridu boritého

V polovodičovém průmyslu,Chlorid boritýPoužívá se hlavně pro suché leptání hliníku a jako příměs pro vytváření oblastí typu P na křemíkových destičkách. Lze jej také použít k leptání materiálů, jako jsou GaAs, Si, AlN, a jako zdroj boru v určitých specifických aplikacích. Chlorid boritý se navíc široce používá při zpracování kovů, ve sklářském průmyslu, v chemické analýze a laboratorním výzkumu.

Bezpečnost chloridu boritého

Chlorid boritýje žíravý a toxický a může způsobit vážné poškození očí a kůže. Ve vlhkém vzduchu hydrolyzuje za vzniku toxického plynného chlorovodíku. Proto je při manipulaci nutné dodržovat vhodná bezpečnostní opatření.Chlorid boritý, včetně nošení ochranného oděvu, brýlí a prostředků ochrany dýchacích cest a práce v dobře větraném prostředí.