Trichlorid BORON (BCL3)je anorganická sloučenina běžně používaná v procesech suchého leptání a chemických depozice párů (CVD) ve výrobě polovodičů. Jedná se o bezbarvý plyn se silným štiplavým zápachem při teplotě místnosti a je citlivý na vlhký vzduch, protože hydrolyzuje za vzniku kyseliny chlorovodíkové a kyseliny boritou.

Aplikace trichloridu BORON

V polovodičovém průmyslu,BORON TRICHLORIDEse používá hlavně pro suché leptání hliníku a jako dopant za vzniku oblastí typu p na křemíkových opcích. Lze jej také použít k leptání materiálů, jako jsou GaAs, SI, ALN a jako zdroj boru v určitých specifických aplikacích. Kromě toho je trichlorid boronu široce používán při zpracování kovů, skleněném průmyslu, chemické analýze a laboratorním výzkumu.

Bezpečnost trichloridu borů

BORON TRICHLORIDEje korozivní a toxický a může způsobit vážné poškození očí a kůže. Hydrolyzuje ve vlhkém vzduchu a uvolňuje toxický plyn chlorovodíku. Při manipulaci je proto třeba přijmout příslušná bezpečnostní opatřeníBORON TRICHLORIDE, včetně nošení ochranného oblečení, brýlí a zařízení na ochranu respiračních a provozu v dobře větraném prostředí.